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EPK測厚儀

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EPK測厚儀技術參數

 


探頭 
特性

F1.5,N0.7,FN1.5

F2

F5,N2.5,FN5

F15

F

N

F

F

N

F

EPK測厚儀測量范圍

0-1.5mm

0-0.7mm

0-2mm

0-5mm

0-2.5mm

0-15mm

使用范圍

小工件,薄涂層,跟測量支架一起使用

粗糙表面

標準探頭,使用廣泛

厚涂層

測量原理

磁感應

電渦流

磁感應

磁感應

電渦流

磁感應

信號處理

探頭內部32位信號處理(SIDSP)

±(1μm 0.75%讀值)

±(1.5μm 0.75%讀值)

±(5μm 0.75%讀值)

重復性

±(0.5μm 0.5%讀值)

±(0.8μm 0.5%讀值)

±(2.5μm 0.5%讀值)

低端分辨率

0.05μm

0.1μm

1μm

zui小曲率半徑(凸)

1.0mm

1.5mm

5mm

zui小曲率半徑(凹,外置探頭)

7.5mm

10mm

25mm

zui小曲率半徑(凹,內置探頭)

30mm

30mm

30mm

zui小測量面積

Φ5mm

Φ10mm

Φ25mm

zui小基體厚度

0.3mm

40μm

0.5mm

0.5mm

40μm

1mm

連續模式下測量速度

每秒20個讀數

單值模式下zui大測量速度

每分鐘70個讀數

SIDSP技術詳解

MiniTest 720/730/740涂層測厚儀

-創新的SIDSP(探頭內部數字信號處理)技術提升了測量的性

-測量范圍達15mm,可更換F、N或FN探頭,供內置或外接探頭使用

-FN探頭自動識別F(鐵磁性)或N(非磁性)基體,操作方便不易出錯

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